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洛阳市志 第十二卷
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三、高纯涂层石英坩埚及其在半导体硅工业中的应用
三、高纯涂层石英坩埚及其在半导体硅工业中的应用
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来源:
洛阳市志 第十二卷/第35篇 科学技术志
编纂单位:
洛阳市地方史志编纂委员会
条目类型:
志
编纂人员:
叶森;袁君敬;朱志仁;陈耀伦;牛国臣;郭先瑞;李路平
页数:
1
出版单位:
中州古籍出版社
分类:
自然科学->科研机构与组织
ISBN:
7-5348-1341-7
内容时限:
0000-1990
出版时间:
1995年12月
目录:
洛阳市志 第十二卷
第35篇 科学技术志
第四章 科技成果
第二节 重大科技成果选介
三、高纯涂层石英坩埚及其在半导体硅工业中的应用