北京工业志 仪器仪表志
第四篇行业与产品
第四章实验室仪器及装置制造业
第三节真空获得设备
一、旋片式真空泵
三、直联式真空泵
二、油扩散泵及其机组
六、真空排气系统
四、涡轮分子泵机组
五、罗茨真空泵