青岛市志 电子仪表工业志
第六篇 电子专用设备及电子材料
第一章 电子专用设备
第三节 真空镀膜机 平行缝焊机
第四节 真空烧结炉
第七节 塑料注射成型机
第六节 热稳态压力机 加压检漏台
第五节 坑式真空炉 单晶炉
第二节 高温扩散炉
第一节 单管氢气炉